박형 초정밀 XYθ Alignment 스테이지
YRA-130-KO
- Table Size(mm)
- • 130 × 130
1. 주요 특징
- • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 XYθ 스테이지
- • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
- • 3축 일체형 구조에 의한 초박형 스테이지
- • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
- • Full Stroke 영역에서 활용 가능한 중공홀 보유
- • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
| Model Number | Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-YRA-130-KO | |
|---|---|---|
| XY 사양 | θ 사양 | |
| Table Size | 130 × 130mm | |
| Travel Range | ±5mm | ±5° |
| Lead Mechanism | Ball Screw, Lead 1.0mm | |
| Height | 60mm | |
| Guide | Cross Roller Guide, Cross Roller Bearing | |
| Resolution *1 | 0.001mm/step | 0.000674°/step |
| Max. Speed | 5mm/sec | 3.37°/sec |
| Repeatability(XY) | ±0.5㎛ 이내 | - |
| Angular Repeatability(θ) | - | 0.001° 이내 |
| Lost Motion | 2㎛ 이내 | 0.005° 이내 |
| Straightness | 1㎛ 이내 / 10mm | - |
| Backlash | 1㎛ 이내 | 0.005° 이내 |
| Motor | EzM-28M(파스텍) | |
- * 1 : Ezi-SERVO 28M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
- • 카메라 및 레이저 얼라인먼트
- • LCD 또는 OLED 등 소형 기판의 얼라인먼트 측정 및 Bonding
- • 스크린 프린터에서의 마크 얼라인먼트
- • 광학기기, 의료기기, 바이오장치 등의 얼라인먼트 및 평가
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-YRA-130-KO
