박형 초정밀 Rotation 스테이지
RA07A-T01
- Table Size(mm)
- • 70 × 70
1. 주요 특징
- • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 초박형 θ 스테이지
- • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
- • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
- • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
| Model Number | Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-RA07A-T01 | |
|---|---|---|
| θ 사양 | ||
| Table Size | 70 × 70mm | |
| Angular Range | ±5mm | |
| Lead Mechanism | Tangent-Bar System, Ball Screw | |
| Height | 30mm | |
| Guide | Cross Roller Guide | |
| Resolution *1 | 0.001364° | |
| Max. Speed | 13.64°/sec | |
| Angular Repeatability(θ) | 0.002° 이내 | |
| Lost Motion | 0.005° 이내 | |
| Backlash | 0.005° 이내 | |
| Eccentricity | 5㎛ 이내 / ±5° | |
| Motor | EzM-28M(파스텍) | |
- * 1 : Ezi-SERVO 28M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
- • 워크(Work)의 회전 반송
- • 워크(Work)의 θ 방향 위치 보정
- • Part 스캐닝, 레이저 위치 보정
- • XY 스테이지와 결합하여 θ 방향 얼라인먼트
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-RA07A-T01
