박형 초정밀 Vertical 스테이지
ZA07A-X102
- Table Size(mm)
- • 70 × 70
1. 주요 특징
- • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 초박형 Vertical 스테이지
- • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
- • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
- • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
| Model Number | Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-42M-☐-ZA07A-X102 | |
|---|---|---|
| Vertical 사양 | ||
| Table Size | 70 × 70mm | |
| Travel Range | ±10mm | |
| Lead Mechanism | Ground Screw, Lead 0.5mm | |
| Height | 50mm | |
| Guide | Cross Roller Guide | |
| Resolution *1 | 0.5㎛ | |
| Max. Speed | 2.5mm/sec | |
| Repeatability(XY) | ±0.5㎛ 이내 | |
| Lost Motion | 1.5㎛ 이내 | |
| Straightness(Vertical) | 7㎛ 이내 / 20mm | |
| Motor | EzM-28M(파스텍) | |
- * 1 : Ezi-SERVO 42M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
- • CCD 카메라 모듈의 이동 또는 포커스
- • 정밀 조립용 슬라이드 테이블
- • Pick & Place의 이동축
- • 워크(Work)의 반송(수평, 수직)
- • 컨베이어 상의 팔레트 위치 결정 스토퍼
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-42M-☐-ZA07A-X102
