FASTECH
박형 초정밀 XYθ Alignment 스테이지
YRA-130-KO
  • Table Size(mm)
  • • 130 × 130
1. 주요 특징
  • • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 XYθ 스테이지
  • • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
  • • 3축 일체형 구조에 의한 초박형 스테이지
  • • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
  • • Full Stroke 영역에서 활용 가능한 중공홀 보유
  • • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
Model Number Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-YRA-130-KO
XY 사양 θ 사양
Table Size 130 × 130mm
Travel Range ±5mm ±5°
Lead Mechanism Ball Screw, Lead 1.0mm
Height 60mm
Guide Cross Roller Guide, Cross Roller Bearing
Resolution *1 0.001mm/step 0.000674°/step
Max. Speed 5mm/sec 3.37°/sec
Repeatability(XY) ±0.5㎛ 이내 -
Angular Repeatability(θ) - 0.001° 이내
Lost Motion 2㎛ 이내 0.005° 이내
Straightness 1㎛ 이내 / 10mm -
Backlash 1㎛ 이내 0.005° 이내
Motor EzM-28M(파스텍)
  • * 1 : Ezi-SERVO 28M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
  • • 카메라 및 레이저 얼라인먼트
  • • LCD 또는 OLED 등 소형 기판의 얼라인먼트 측정 및 Bonding
  • • 스크린 프린터에서의 마크 얼라인먼트
  • • 광학기기, 의료기기, 바이오장치 등의 얼라인먼트 및 평가
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-YRA-130-KO