박형 초정밀 X 스테이지
XA05A-R201
- Table Size(mm)
- • 50 × 50
1. 주요 특징
- • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 초박형 X 스테이지
- • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
- • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
- • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
| Model Number | Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-XA05A-R201 |
|---|---|
| X 사양 | |
| Table Size | 50 × 50mm |
| Travel Range | ±7.5mm |
| Lead Mechanism | Ball Screw, Lead 1.0mm |
| Height | 20mm |
| Guide | Cross Roller Guide |
| Resolution *1 | 1㎛ |
| Max. Speed | 5mm/sec |
| Repeatability(X) | ±0.2㎛ 이내 |
| Lost Motion | ±0.5㎛ 이내 |
| Straightness | 1㎛ 이내 / 15mm |
| Backlash | 0.2㎛ 이내 |
| Motor | EzM-28M(파스텍) |
- * 1 : Ezi-SERVO 28M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
- • LCD 또는 OLED 등 소형 기판의 얼라인먼트, 측정 및 Bonding
- • 스크린 프린터에서의 마크 얼라인먼트
- • Probe 검사 장비
- • 원형 글라스 컷팅 공정
- • 광학 기기, 의료 기기, 바이오 장치 등의 얼라인먼트 및 평가
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-XA05A-R201
