FASTECH
박형 초정밀 Rotation 스테이지
RA07A-T01
  • Table Size(mm)
  • • 70 × 70
1. 주요 특징
  • • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 초박형 θ 스테이지
  • • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
  • • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
  • • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
Model Number Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-RA07A-T01
θ 사양
Table Size 70 × 70mm
Angular Range ±5mm
Lead Mechanism Tangent-Bar System, Ball Screw
Height 30mm
Guide Cross Roller Guide
Resolution *1 0.001364°
Max. Speed 13.64°/sec
Angular Repeatability(θ) 0.002° 이내
Lost Motion 0.005° 이내
Backlash 0.005° 이내
Eccentricity 5㎛ 이내 / ±5°
Motor EzM-28M(파스텍)
  • * 1 : Ezi-SERVO 28M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
  • • 워크(Work)의 회전 반송
  • • 워크(Work)의 θ 방향 위치 보정
  • • Part 스캐닝, 레이저 위치 보정
  • • XY 스테이지와 결합하여 θ 방향 얼라인먼트
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-28M-D-RA07A-T01