FASTECH
박형 초정밀 Vertical 스테이지
ZA07A-X102
  • Table Size(mm)
  • • 70 × 70
1. 주요 특징
  • • 고정도 위치 결정이 가능한 초정밀 초박형 Vertical 스테이지
  • • PC(Windows) 인터페이스 사용자를 위한 모션 DLL Library 제공
  • • 고정밀도 볼스크류 구조로 긴 수명(Long Life) 실현
  • • 고정도 광학식 엔코더를 채용한 Ezi-SERVO의 장착으로, 기존 5상 스텝핑 모터 대비 위치 정밀도 향상
2. Specification
Model Number Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-42M-☐-ZA07A-X102
Vertical 사양
Table Size 70 × 70mm
Travel Range ±10mm
Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm
Height 50mm
Guide Cross Roller Guide
Resolution *1 0.5㎛
Max. Speed 2.5mm/sec
Repeatability(XY) ±0.5㎛ 이내
Lost Motion 1.5㎛ 이내
Straightness(Vertical) 7㎛ 이내 / 20mm
Motor EzM-28M(파스텍)
  • * 1 : Ezi-SERVO 42M 모터의 Resolution을 1,000[Step/회전]으로 설정한 경우의 사양입니다.
3. 용도
  • • CCD 카메라 모듈의 이동 또는 포커스
  • • 정밀 조립용 슬라이드 테이블
  • • Pick & Place의 이동축
  • • 워크(Work)의 반송(수평, 수직)
  • • 컨베이어 상의 팔레트 위치 결정 스토퍼
Ezi-Robo-PMS-☐ ☐-42M-☐-ZA07A-X102